等离子体的暗区

  我听说在等离子体物理学中有“暗区”这个概念,请详细介绍一下:暗区有几个?名称是什么?如何划分?每个暗区的用途等(比如磁控溅射要使用哪个暗区?)。不胜感激!...

  我听说在等离子体物理学中有“暗区”这个概念,请详细介绍一下:暗区有几个?名称是什么?如何划分?每个暗区的用途等(比如磁控溅射要使用哪个暗区?)。

  1、阿斯顿暗区:非常窄的暗区,由于电子刚刚离开阴极,从电场得到的能量不足以激发气体原子,因此没有发光。

  2、阴极暗区(克鲁克斯暗区):发光微弱,也称作暗区,由于经电场加速后此时电子能量已经较高,能量用于电离而非激发,多以发光很弱

  3、法拉第暗区:电子在经过碰撞”加热“放电气体后能量降低,无力激发,形成暗区

  4、阳极暗区:在阳极辉去之后,二者都是非典型区域,原理类似法拉第暗区都是出现在辉区之后